晶盛机电(300316.CN)

晶盛机电:8英寸硅外延炉和6英寸碳化硅外延炉通过客户验收

时间:20-09-04 15:13    来源:东方财富网

晶盛机电(300316)消息,日前,晶盛机电外延设备研究所自主研发的8英寸单片式硅外延炉和6英寸碳化硅外延炉(4英寸工艺)通过客户验收。同时,晶盛自主研发的6英寸碳化硅外延炉4英寸工艺也获得客户验收,现进行6英寸工艺调试,目前工艺验证顺利进行。

(文章来源:e公司)